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钙钛矿电池设备解决方案

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PVD设备

产品参数

项目

规格

基板尺寸

450mm*650mm

厚度均匀性

±5%（边缘8mm之内部）

设备尺寸

6800mm*3200mm*2100mm

产品图片

                   上下料腔Δ          预热腔Δ               缓冲腔Δ       PVD空穴层镀膜腔Δ        PVD ITO镀膜腔Δ           缓冲腔Δ 

 
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